임직원과 제품의 보호막, 인터락(INTERLOCK)

산업 설비와 공정에는 임직원의 안전을 지켜주고, 제품 품질을 제어해주는 ‘인터락(INTERLOCK)’이라는 장치들이 있습니다. 오늘은 생산라인에서 없어서는 안 될, 인터락에 대해서 알아보겠습니다.

■ 인터락이란 무엇일까요?

인터락이란 설비의 작동을 특정 조건 상에서 방지, 또는 중단하는 것을 목적으로 하는 장치 및 시스템으로, 설비와 공정에는 다양한 인터락이 있습니다.

크게, 인터락의 종류에는 안전 인터락과 공정 인터락이 있습니다.

‘안전 인터락’은 설비가 정상상태를 벗어나게 되어 발생하는 이상상황을 알리고, 즉시 설비를 정지시켜 작업자의 안전을 지켜주는 역할을 합니다.

즉, 공정 내 설비의 구동부 및 위험점 접근을 방지하기 위한 장치로, 우리 일상 생활 주변에서도 쉽게 접할 수 있습니다. 예를 들어, 엘리베이터 문에는 신체의 일부나 물건이 끼면 자동으로 문이 열려 안전사고를 방지할 수 있는데요, 이렇게 엘리베이터 문에 설치된 장치도 센서 인터락으로 ‘안전 인터락’의 하나로 볼 수 있습니다.

‘공정 인터락’은 최적의 제품이 생산될 수 있도록 미리 설정해 놓은 공정 기준을 만족시키지 못할 경우, 작동이 중단되어 제품의 품질을 제어해주는 역할을 합니다.

즉, 공정 기준을 벗어나면 올바른 조건에 맞춰질 때까지 작동을 멈추어 제품의 불량률을 최소화 해주는 장치입니다. 예를 들어, 빵이 가장 맛있게 구워지는 가열시간이 3분이라면 3분을 넘어설 때, 오븐 동작이 중지되어 빵이 타는 것을 방지해 주는 것과 같다고 볼 수 있습니다.

■ 반도체 사업장 내 인터락은?

삼성전자 반도체 사업장의 경우, 8대 공정 내 약 200~250 종류의 인터락이 있습니다.

반도체 공정 내에는 대표적으로 아래와 같이 4가지 안전 인터락이 있습니다.

도어 인터락(DOOR INTERLOCK)은 작동 중인 설비에 접근하지 못하도록 제어하는 안전장치입니다. 즉, 설비의 문이 열리면 내부의 기계 동작이 즉시 정지됩니다.

특히, IMP(이온주입) 설비의 경우 차폐도어가 설치되어 있기 때문에 내부에서 발생되는 방사선은 외부로 유출되지 않으며, 문이 열렸을 경우 방사선을 발생시키는 전원이 OFF되어 방사선이 발생하지 않습니다.

근접센서 인터락(APPROACH INTERLOCK)은 작업자의 신체부위를 적외선으로 감지하여 설비 가동을 중단시키거나 기계 작동을 멈추게 하는 역할을 합니다.

터치센서 인터락(TOUCH INTERLOCK)은 설비에 동작 방향 센서가 있어 운행 중인 설비에 신체나 물체가 접촉 시, 즉시 작동을 멈추어 작업자의 안전을 확보하는 장치입니다.

커버 인터락(COVER INTERLOCK)은 커버가 열릴 경우 스위치가 off되며 설비가 멈추고 전기, 가스 등의 모든 공급물질이 차단되어 작업자의 안전을 지켜주는 역할을 합니다.

이처럼, 반도체 생산라인 내에는 각 공정 설비마다 와이어, 센서, 비상정지 스위치 등 다양한 타입의 안전 인터락이 설치되어 있어 임직원의 안전을 지켜주고 있습니다.

그렇다면, 반도체 생산라인 내 공정 인터락은 무슨 역할을 할까요?

안전 인터락이 설비의 물리적인 작동을 제어한다면, 공정 인터락은 제품의 품질을 유지하기 위한 소프트웨어 시스템입니다. 즉, 최적의 반도체를 생산할 수 있는 조건을 이탈할 경우 해당 공정 설비의 인터락이 작동하게 됩니다. 이는 다음 공정으로의 진행이 되지 않아 반도체의 불량을 방지해 주는 역할을 합니다.

예를 들어 반도체 공정 중 웨이퍼를 양산하는 조건온도가 25라면, 공정 중 온도가 25도 이상 될 경우 히터를 정지시켜 품질 불량이 발생할 수 있는 가능성을 차단합니다.

■ 철저한 기준과 체계적인 교육으로 관리

삼성전자 반도체 생산라인 내 인터락은 임직원의 안전 및 반도체 품질과 관련된 만큼 철저한 시스템 하에 관리되고 있습니다.

국내외 법적 기준보다 엄격한 기준을 적용하여, 외부 기관으로부터 안전성을 인정받은 설비라도 자체 추가 검증을 통해 보완 및 개선활동을 하고 있습니다. 설비에 따라 1중~3중의 다중 안전 인터락을 설치하고 있으며, 매월 정기 점검을 통해 설비의 안전성을 높이고 있습니다.

특히, 안전/공정 등 모든 인터락은 작업자가 임의로 해제할 수 없는 구조로 설계되어 있기 때문에 인터락을 해제하고 작업을 진행 할 수 없습니다. 만약, 인터락이 작동하여 설비가 멈춘 경우에는 규정된 절차에 따라 엔지니어만이 작업을 복구할 수 있습니다.

인터락에 대한 엄격한 기준 적용과 관리로 임직원의 안전과 반도체의 품질을 지킬 수 있다는 점이 놀랍지 않으신가요? 인터락은 고마운 시스템이자 꼭 지켜야 할 약속입니다.