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[반도체 용어 사전] 트렌치(Trench) 공법
트렌치 공법[Trench method] 반도체 칩 평면을 아래로 파내서 만든 공간에 셀을 배치해 집적도를 높이는 기술. 반도체의 용량이 커지면서 반도체 칩 평면에만 셀을 집적시키는 방식이 물리적 한계에 부딪히며 나온 방식이다. 셀을 위로 쌓아 올려 집적도를...
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