반도체 8대 공정 2탄. 웨이퍼 표면을 보호하는 산화공정(Oxidation)

지난 시간, 반도체의 집적회로(IC)의 핵심재료인 웨이퍼(Wafer)에 대해 알아보았습니다. 오늘은 반도체 8대 공정 두 번째 시간으로 웨이퍼 표면에 산화막(SiO₂)을 형성시키는 ‘산화공정’에 대해 알아보도록 하겠습니다. ■ 웨이퍼 표면을 보호하는 든든한...