[반도체 용어 사전] 식각

식각[Etching, 에칭] 웨이퍼에서 필요한 회로 패턴을 제외한 나머지 부분을 제거하는 공정. 반도체 식각 공정은 판화 기법의 한 종류인 동판화 에칭 기법과 비슷한 원리를 가지고 있다. 화학약품의 부식작용을 이용해 이미지를 만드는 에칭 기법처럼, 반도체 식각 공정도 액체...

반도체 8대 공정 5탄. 특정 회로패턴을 구현하는 식각공정(Etching)

웨이퍼에 감광액(PR, Photo Resist)을 바르고 빛을 조사해 밑그림을 그려 넣는 포토공정(Photo)이 끝나면, 이제 필요한 회로 패턴을 제외한 나머지 부분을 제거하는 과정이 필요한데요, 이번...