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[인생맛칩 Ep.12] 날 이렇게 갈아낸 공정은 네가 처음이야, 웨이퍼를 평탄하게 갈고 닦는 연마 공정 수련기?
건물을 만들 때 층의 높이가 똑같아야 그 다음 층을 올릴 수 있는 것처럼, 웨이퍼도 다음 공정에서 층이 잘 쌓일 수 있도록 표면을 평탄화하는 작업이 필요합니다. 웨이퍼에 산화막, 절연막, 전도성 막 등 여러 층으로 박막을 쌓다 보면 표면에 울퉁불퉁 단차가 생기는데요. 이 표면을...
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