웨이퍼(mm) 위에 그리는 밑그림(nm). Part 1 -삼성전자 파운드리 사업부의 EUV Minimum Pitch Single Patterning

삼성전자 파운드리 사업부는 EUV Minimum Pitch Single Patterning을 주제로 논문을 IITC(International Interconnect Technology Conference)에서 발표하였습니다. 논문과 EUV기술의 특징을 보다 많은 분들에게...

[내일도 함께 애쓰지 Ep.5] ‘패턴 웨이퍼 찾으셨나요?’ 산타도 울고 갈 든든한 선물의 정체!

‘최상급 패턴 웨이퍼로 연구하세요!’ 반도체 장비와 소재 업체에서 새로운 제품의 성능을 검증하기 위해서는 미세 회로 패턴이 새겨진 웨이퍼가 필요한데요. 그중에서도 미세한 나노 단위의 패턴 웨이퍼는, 100% 완벽한 검증을 위해 꼭 필요한 재료로 손꼽히고 있지만, 사막에서 바늘...

[인생맛칩 Ep.13] 완벽한 반도체의 시작은 정확한 계측으로부터! 모든 공정의 짝꿍, 계측 공정 살펴보기

“측정할 수 없으면 관리할 수 없다!” 완벽한 반도체 제품이 탄생하기 위해서는, 제조 공정이 진행되는 전 과정 속에서 세밀하게 웨이퍼를 측정하는 작업이 반드시 필요합니다. 이를 수행하는 곳, 바로 ‘계측 공정’입니다. 매 공정 후에는 반드시 계측 공정이 진행됩니다. 하나의 웨이퍼...

[내일도 함께 애쓰지(ESG) Ep.3] 국내 유일의 펠리클 업체 FST, 완벽한 품질을 위해 삼성전자 반도체와 함께 한 활동은? (a.k.a 먼지박사)

완벽한 반도체 제조를 위해 꼭 필요한 것, 공정 중 나노 미터 크기의 파티클(먼지) 한 톨도 들어가지 않게 관리하는 일입니다. 삼성전자 반도체와 함께 일하고 있는 회사 ‘FST’는 반도체 제조 공정 중에서도 포토 공정에 사용되는 마스크를 파티클로부터 보호하는 ‘펠리클(투명한...

[인생맛칩 Ep.12] 날 이렇게 갈아낸 공정은 네가 처음이야, 웨이퍼를 평탄하게 갈고 닦는 연마 공정 수련기?

건물을 만들 때 층의 높이가 똑같아야 그 다음 층을 올릴 수 있는 것처럼, 웨이퍼도 다음 공정에서 층이 잘 쌓일 수 있도록 표면을 평탄화하는 작업이 필요합니다. 웨이퍼에 산화막, 절연막, 전도성 막 등 여러 층으로 박막을 쌓다 보면 표면에 울퉁불퉁 단차가 생기는데요. 이 표면을...

웨이퍼에 회로를 인화한다. ‘포토레지스트’

반도체 공정의 첫 시작이라고도 할 수 있는 포토 공정. 이 공정에서 반도체 회로 형성에 중요한 역할을 하는 소재가 있습니다. 바로 포토레지스트(Photoresist) 인데요. 포토레지스트란 무엇이며, 반도체 공정에서 어떻게 활용되는 걸까요? 반도체 공정의 핵심 소재,...