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[반도체 용어 사전] 산화막
산화막 [Oxide Film] 공정에서 발생하는 불순물로부터 실리콘 표면을 보호하는 막. 고온에서 산소를 실리콘 웨이퍼 표면과 화학 반응시켜 생성되는 얇고 균일한 실리콘 산화막(SiO2)이다. 특히 눈에 보이지 않는 미세한 오염물질도 집적회로의 전기적 특성에 영향을 미칠 수 있기...
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