웨이퍼는 반도체 제조를 위해 수백 단계의 공정을 거칩니다. 이렇게 각 공정을 거칠 때마다 웨이퍼 위에는 각종 파티클이나 잔류 유기물, 금속 찌꺼기등의 불순물이 불가피하게 남게 되고 이는 제품의 수율이나 신뢰성에 문제를 일으킬 수 있기 때문에, 웨이퍼는 ‘세정 공정’을 반드시 거쳐야 하죠.
세정 공정은 여러 공정의 앞 뒤에 배치되어, 전체적으로는 반도체 제조 공정의 1/3이나 되는 비중을 차지합니다. 사람에 비유한다면, 하루 24시간 중 8시간을 씻는 데 할애하는 것과 마찬가지인데요. 이렇게 세정 공정에 공을 들이는 것은 웨이퍼에 붙어 있는 아주 작은 오염물도 제품의 수율이나 신뢰성에 문제를 일으킬 수 있기 때문이죠. 세정 공정을 통해 제거 가능한 오염물의 크기는 축구장 안에 있는 바늘 하나 정도로 비유될 수 있다고 하니 정말 대단하죠?
깨끗하게, 맑게, 자신 있게! 오늘도 웨이퍼의 청결을 위해 24시간 밀착 케어 중인 세정 공정 맛집으로 떠나볼까요? 쓱싹- 쓱싹-
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