완벽한 반도체 제조를 위해 꼭 필요한 것, 공정 중 나노 미터 크기의 파티클(먼지) 한 톨도 들어가지 않게 관리하는 일입니다. 삼성전자 반도체와 함께 일하고 있는 회사 ‘FST’는 반도체 제조 공정 중에서도 포토 공정에 사용되는 마스크를 파티클로부터 보호하는 ‘펠리클(투명한 필름)’을 제조하는 국내 유일의 업체입니다. 이렇게 중요한 펠리클의 수율을 확보하기 위해 삼성전자 반도체에서 31년째 파티클 제어를 담당해 온 전문가 김진성 님이 나섰습니다. FST의 품질 경영을 지원하는 자문단으로 참여한 것인데요.
‘내일도 함께 애쓰지(ESG)’ 세 번째 에피소드에서는 FST의 펠리클 품질 담당자로 구성된 PDS(Pellicle Defect Solution)팀과 김진성님의 협력을 통한 수율 개선 활동을 소개합니다. 이들의 유일한 목표는 바로 먼지 단 한 톨도 허용하지 않는 ‘파티클 Free’! 새로운 길을 개척하는 과정에서 시행착오도 있었지만, 과학적인 데이터를 바탕으로 철저한 현장 분석을 거듭한 결과 높은 수율에 도달하는데 성공했습니다.
한편, 김진성 님은 FST가 이러한 활동을 계속해나갈 수 있도록 전담 조직을 구성해 유지할 것을 제안하기도 했는데요. 과연 그 결과는 어떠했을까요? 영상으로 함께 확인해 볼까요?
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