“측정할 수 없으면 관리할 수 없다!”

완벽한 반도체 제품이 탄생하기 위해서는, 제조 공정이 진행되는 전 과정 속에서 세밀하게 웨이퍼를 측정하는 작업이 반드시 필요합니다. 이를 수행하는 곳, 바로 ‘계측 공정’입니다.

매 공정 후에는 반드시 계측 공정이 진행됩니다. 하나의 웨이퍼 안에서 가능한 한 많은 정상적인 칩을 만들어 내기 위해서는 매 공정을 완벽하게 제어해야 하며, 그러기 위해서는 측정과 검사가 필요하기 때문입니다.

계측 공정은 의도한 대로 정확한 크기로 공정이 진행됐는지 측정하는 메트롤로지(Metrology), 그리고 원하지 않는 불량 혹은 파티클이 웨이퍼에 떨어졌는지 검사하는 인스펙션(Inspection)을 수행합니다.

계측 공정에 있어서 가장 중요한 것은 빛! 웨이퍼에 빛을 쏘고 반사된 빛을 분석해 상태를 진단한다는 사실.

완벽한 반도체 구현을 위해 모든 공정 사이에 진행되는 계측 공정, 구체적으로 어떠한 요소들을 측정하는지 영상으로 만나볼까요?

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