삼성전자 DS부문에는 임직원들의 건강과 보다 안전한 근무환경을 위해 매일매일 고민하는 사람들이 있습니다. 바로 국내 기업 최초로 설립된 산업보건 민간연구소인 ‘삼성전자 건강연구소’ 연구원들입니다.

2010년 4월 설립된 삼성전자 건강연구소는 ‘쾌적한 근무환경’ 조성과 ‘임직원 건강증진’을 위해 다양한 연구활동을 펼치고 있습니다. 매년 상·하반기, 관련 임직원과 국내 산업보건 전문 교수진을 초청해 그 동안 수행했던 연구결과를 공유하고, 보완사항 및 미래 지향적 발전방향을 종합적으로 토론하는 연구결과 발표회를 진행하고 있는데요.

지난 6월 27일, ‘2013년 상반기 연구결과 발표회’를 위해 자문 교수 및 임직원 60여 명이 모였습니다. 그럼 건강하고 안전한 근무환경을 위해 올해는 어떤 활동을 펼쳤는지 함께 알아볼까요?

상반기 연구결과 발표회는 건강연구소 조우현 소장의 인사말로 포문을 열었습니다. 올해로 만 3년이 된 삼성전자 건강연구소는 근무환경 관련 다양한 연구 수행과 함께, 그 결과를 국내외 학술대회 등에 발표하며 반도체 근무환경의 안전성을 평가받는 활동을 진행하고 있습니다.

연구결과 발표회에 들어가기 전, 김동일 부소장의 건강연구소 소개가 있었습니다. 건강연구소는 임직원의 건강증진 연구, 작업환경 연구, 유해성이 알려지지 않은 물질 연구, 부산물의 건강영향성 평가 연구 등 현장 중심의 연구에 매진하고 있는데요, 2012년에는 총 35건의 연구를 수행했고, 2013년에는 건강연구 16건, 학술활동 23건 등 총 48건의 연구과제 수행을 목표하고 있다고 설명했습니다.

또한 건강연구소는 올해 상반기 한국산업위생학회(KSOEH) 춘계 학술대회에 참가해 총 4건의 연구결과를 발표했고, 국제 학술지인 산업환경보건학술지(JOEH)에 「CVD TEOS 공정 설비 내에서 생성된 부산물 특성 연구」논문을 게재하는 등 그 동안의 주요 연구성과도 함께 소개했습니다.

연구결과 발표회는 1부와 2부로 나뉘어 진행됐는데요. 1부는 ‘건강 및 직업역학’ 분야, 2부는 ‘작업환경 및 유해인자’ 분야에 대한 연구결과를 발표하는 시간이었습니다.

■ ‘건강 및 직업역학’ 분야 연구수행

먼저, 1부에서는 김동일 부소장이 삼성전자 임직원의 ‘건강근로자 효과 발생 가능성 연구’에 대한 발표를 진행했습니다. 비만도, 빈혈, 콜레스테롤 수치 등 임직원의 건강근로자 효과(Healthy Worker Effect, HWE)에 대한 연구 분석 결과입니다.

이후 이지원 연구원이 국내 최초 사업장 기반의 ‘삼성전자 코호트(Samsung Health Initiatives, SHI) 구축결과’를 발표했는데요. ‘코호트(Cohort)’란 특정 경험을 공유하는 대상 집단을 말합니다. 삼성전자 코호트는 임직원의 직업관련성 질환 원인을 규명하고, 사업장에 적용 가능한 질병예방 및 건강증진 프로그램을 개발하기 위해 구축됐습니다.

또한 김태훈 연구원은 구축된 삼성전자 임직원의 코호트를 통해 ‘뇌·심혈관질환 인자 및 당뇨병 추이 분석’ 결과를 공유했습니다. 이 연구는 운동부족, 과로 등으로 기초질환 발생 가능성이 있는 직장인의 건강 관리와 유병상태 및 추이를 분석하기 위해 진행됐는데요, 향후 뇌·심혈관 질환 및 당뇨 등 잠재적인 고위험군을 예측해 사전예방 및 관리에 활용될 것으로 기대됩니다.  

1부 마지막은 이경호 연구원의 ‘고도 비만자에 대한 운동 전후 건강위험도 변화 연구’에 대한 발표가 진행됐습니다. ‘비만’은 모든 성인병의 근원이 될 수 있는데요. 이 연구는 고도 비만 임직원의 만성질환 발생률을 감소시키기 위해 수행됐으며, 실제로 고도 비만 임직원 희망자를 대상으로 운동 프로그램을 진행했습니다. 15주동안 운동과 식이 조절을 한 결과, 임직원들의 간기능이 강화됐고 콜레스테롤 수치와 당뇨지수가 감소한 것을 확인할 수 있었습니다.

특히 지난 6월, 본 연구 내용은 직업역학 분야에서 권위있는 ‘국제산업역학회(EPICOH)’에서 발표됐는데요, 연구 결과를 접한 학자들의 많은 관심을 받은 내용이기도 합니다.

■ ‘작업환경 및 유해인자’ 분야 연구수행

2부는 반도체 산업에서 알려져 있거나 아직까지 알려지지 않은 잠재적 위험 요소(Unknown Risk Factor)를 확인, 작업자의 노출위험 수준을 평가하고 개선하는 ‘작업환경 및 유해인자’ 분야에 대한 발표가 진행됐습니다.

이석원 연구원은 글로벌 선진기업의 보건관리 프로그램을 비교 조사하고, 우수 성공사례를 발굴하고 적용함으로써 삼성전자의 안전보건 관리수준 향상을 위한 전략을 제시하였습니다. 최근 국내외 기업에서 안전보건 분야에 대한 중요성이 대두되고 있는데요. 안전보건 관리수준이 우수한 글로벌 선진기업의 사례를 조사하고 분석해 향후 삼성전자가 나아가야 할 미래 지향적 발전방향을 모색하는 계기가 됐습니다.

다음 연구는 “LCD 제조공정에서 사용 물질의 노출기준 설정에 대한 연구”였습니다. 윤영희 연구원은 노출기준이 없는 물질에 대해 유럽연합(EU)에서 제시한 글로벌 관리기준을 설정했고, 현장 임직원의 건강을 안전하게 보호하고자 실행 가능한 가이드라인을 공유했습니다. 이 연구는 2013년 ‘한국산업위생학회지’에도 게재되어 연구결과의 신뢰성을 확보하기도 했습니다.

이어서 김지영 연구원이 반도체 공정에서 사용되는 화학물질의 건강유해성 정보를 매트릭스화하는 방안을 발표했습니다. 이 연구는 반도체 공정에서 사용하는 화학물질(제품)을 공정별로 분류해 화학물질이 근로자에게 미칠 수 있는 영향을 알기 쉽게 전달하고자 수행됐는데요. 향후 화학물질을 취급하는 임직원의 안전보건 의식이 보다 증진될 것으로 기대되고 있습니다.

드디어 연구 발표회의 마지막 순서! 최광민 연구원의 LED 인듐 사용 공정의 노출특성 분석 연구 결과가 공유됐습니다. 디스플레이 산업의 발달에 따라 산화인듐주석(ITO)의 소비량이 급증하고 있고, 이에 따라 노출현황 및 특성 등 인듐에 대한 명확한 규명이 필요한데요. 연구결과, LED 제조공정에서 생성되는 인듐 입자는 그 노출농도가 매우 낮아 건강에 영향을 줄 수준이 아닌 것으로 확인됐습니다.

총 8건의 연구결과가 발표되는 동안 참석한 전문가들은 각 연구결과에 대한 전문가적 견해와 더 나은 연구를 위한 방향을 제시하며, 건강연구소 연구원들과 토론하는 시간을 가졌습니다. 이 날 좌장을 맡은 연세대 노영만 교수를 만나 상반기 연구 발표에 대한 견해와 조언을 들어 봤습니다.

■ mini interview : 연세대학교 노영만 교수

Q. 삼성전자 건강연구소의 상반기 연구결과에 대한 견해는?

제가 건강연구소 발표회에 참석한 것은 올해로 세 번째입니다. 작년에는 건강연구소 기반 구축을 위한 연구들이 주로 진행됐다면, 올해 발표된 다양한 연구결과는 상당히 발전된 모습을 보여 주고 있습니다.

1년 사이 삼성전자 임직원들의 건강을 고려하여 내외적 요소를 담는 미래 지향적 연구로 발전한 것 같습니다. 특히 삼성전자 임직원 코호트 구축을 통해 잠재적 질병을 예측하는 연구가 상당히 인상깊었습니다.

Q. 삼성전자 건강연구소의 연구활동에 대한 기대는?

삼성전자 건강연구소는 만 3년 밖에 되지 않았으나, 앞서가는 연구를 보여 주고 있습니다. 중장기적인 연구를 통해 점차 미래지향적으로 발전하고 있는데, 이는 다른 연구소에도 본보기가 될 것이라 생각합니다. 또한 삼성전자는 임직원의 건강과 안전을 최고 수준으로 관리하고자 하는데, 이를 위해 건강연구소가 사전 예방적 종합보건연구를 수행함으로써 큰 역할을 할 것으로 기대됩니다.

Q. 삼성전자 건강연구소에 조언을 해준다면?

산업보건은 다양한 작업환경 요인에 대한 다각적인 접근이 필요한 만큼, 보다 체계적인 연구가 지속됐으면 좋겠습니다. 그리고 발표된 연구방법 및 결과를 실제 작업환경에 적용하고, 현장 평가를 통해 신뢰성을 확보해 나갔으면 좋겠습니다. 또한 대외적인 학회 교류, 외부 전문가와의 협력을 통해 신뢰를 구축해야 할 것입니다.

이번 ‘2013년 상반기 연구결과 발표회’는 현재까지의 연구성과를 발표하고, 자문위원과의 토론을 통해 연구결과를 보완하고 발전해 나가기 위해 서로 고민하는 자리였습니다. 보다 건강한 삼성 나노시티를 만들기 위해 끊임없이 연구하는 삼성전자 건강연구소, 삼성반도체이야기가 이들을 응원합니다!

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이 곳에서는 반도체 제조 현장에서 알려지지 않은 잠재적 위험 요소(Unknown Risk Factor)를 발견하고 개선하여 지속적으로 안전한 근무환경을 유지하기 위한 중·장기적인 연구과제를 수행하고 있습니다.

최근에 삼성전자 건강연구소에서 발표한 「CVD TEOS 공정 설비 내에서 생성된 부산물 특성 연구」논문이 세계적으로 권위 있는 산업환경보건학술지 JOEH(Journal of Occupational and Environmental Hygiene)에 게재되었습니다.

JOEH에 게재된 이번 논문 역시 TEOS(tetraethyl orthosilicate) 물질을 사용하는 CVD(Chemical Vapor Deposition, 화학기상증착) 공정에서 발생하는 파우더의 성분, 크기, 결정 구조 등을 분석하여 잠재적 위험 요소(Unknown Risk Factor)를 규명했습니다.

삼성전자 건강연구소는 작업환경 내 확인되지 않은 위험성을 파악하고 이를 학술적인 방법으로 검증받는 활동을 지속해 나가겠습니다.

■ CVD TEOS 공정 설비 내에서 생성된 부산물 특성 연구

1. 연구 배경
 반도체 제조공정에서 CVD(Chemical Vapor Deposition, 화학기상증착) 공정은 웨이퍼 표면에 기체 상태의 혼합물을 얇은 절연막으로 입혀 전기적인 특성을 갖게하는 방법입니다.TEOS(Tetraethyl orthosilicate) 물질은 이 공정에 적합한 특성을 가지고 있어 절연막(SiO₂film) 형성을 위해 가장 널리 사용하고 있는 물질입니다.

이번 연구에서는 반도체 CVD TEOS 공정에서 생성되는 파우더의 성분, 크기, 결정성 등의 분석을 통해 근무 환경의 잠재적 위험 요소(Unknown Risk Factor)를 규명했습니다.

2. 연구방법
AP CVD(Atmospheric Pressure CVD) 설비에서 유지보수 작업 시 배기 단에서 확인되는 파우더를 채취했습니다. 채취한 파우더는 전자현미경(SEM-EDS, TEM-EELS) 및 X-선 회절(XRD) 분석을 통해 화학적 조성, 크기, 형상 및 결정구조 등을 규명했습니다.

3. 연구결과

CVD 공정에서 생성된 파우더는 실리콘과 산소로 구성된 실리카(SiO₂)로 확인되었고, 그 외 다른 물질은 없는 것으로 확인되었습니다. 실리카(SiO₂)는 결정구조에 따라 독성이 다른데 본 공정에서 생성된 실리카(SiO₂)는 비결정성으로 확인되었습니다. 결정성 실리카는 발암성 물질로 만성적 폐질환을 일으킬 수 있으나, 비결정성 실리카는 폐에 거의 영향을 일으키지 않는 물질로 알려져 있습니다.

※ JOEH (Journal of Occupational and Environmental Hygiene, 10:1, D1-D5, 2013)에 게재된 건강연구소 연구 논문은 아래 링크에서 확인할 수 있습니다.
 JOEH_CVD TEOS 공정 설비 내에서 생성된 부산물 특성 연구.pdf

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