‘칠러’라는 용어, 들어보셨나요? 칠러(Chiller)는 반도체 제조 시설에서 사용되는 장비의 일종입니다. 반도체를 만드는 팹 안에서는 국부적인 온도 조절이 필요하며, 이 때 칠러를 활용합니다. 즉, 칠러는 반도체 생산을 위해 없어서는 안될 중요한 장비라고 할 수 있습니다.

‘내일도 함께 애쓰지(ESG)’ 두 번째 에피소드에서는 칠러를 개발하고 만드는 협력사 ‘테키스트’와의 상생 스토리를 담았습니다. 이야기의 주인공인 테키스트 미래연구개발팀 김도형 님은 20년 동안 칠러를 연구해 왔고, 그에게 있어 칠러는 자식같이 소중한 존재입니다. 그런 그가, 성능 검증 테스트를 진행하기 위해 삼성전자에 칠러 장비를 떠나 보냈는데요.

삼성전자로 떠난 것은 비단 칠러 뿐만이 아닙니다. 도형 님 역시 삼성전자 반도체  캠퍼스에서, 상생 컨설턴트로 활동하고 있는 메모리Etch 기술팀 강태균 님과 의미 있는 시간을 보냈습니다. 두 사람은 삼성전자 반도체에서 진행되는 테키스트 칠러 장비의 성능 검증 테스트에 대한 의견을 나누기도 하고, 앞으로 더욱 긴밀한 협력도 다짐했는데요. ‘좋은 반도체’를 만들기 위해 뜻을 모은 테키스트와 삼성전자 반도체의 특별한 협력! 영상으로 만나볼까요?

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에메랄드 시티에 오즈의 마법사가 있다면, 삼성전자 반도체에는 ‘온도의 마법사’가 있습니다. 반도체 생산 공정 내 필수 설비 중 하나, 온도를 제어하는 ‘칠러’를 담당하는 메모리기술혁신팀 ‘이세훈 님’인데요. <내일도 애쓰지(ESG)>의 여덟 번째 주인공이기도 한 이세훈 님은 칠러에 어떤 마법을 걸고 있는 걸까요?

생산 공정의 온도를 제어하는 설비, 칠러(Chiller)

반도체가 탄생하는 공간인 팹(Fab)에는 방대한 설비들이 모여 있는데요. 이 설비에서 발생하는 열을 회수해서 적정 온도를 유지할 수 있게 해주는 설비가 바로 ‘칠러(Chiller)’입니다. 그럼 반도체 공정에서 온도 제어는 왜 중요할까요? 설비 내부 온도가 상승하면 제대로 생산 공정을 진행할 수 없기 때문입니다.

칠러는 이렇게 중요한 역할을 하지만, 많은 전력을 소모하는 것이 사실입니다. 삼성전자 반도체 사업장을 기준으로 보았을 때, 팹에서 사용하는 전체 전력이 100이라면 칠러의 소비 전력은 20~30 정도 되죠. 따라서 칠러의 전력 소모를 줄이는 것은 매우 중요한 과제이고, 이세훈 님은 칠러의 저전력화를 위해 부단히 노력하고 있습니다.

친환경을 위한 노력은 계속된다, 저전력화 100%를 향해!

이세훈 님은 칠러 설비 저전력화를 위해 협력업체와 함께 다각도로 방안을 모색하고 있는데요. 먼저, 기존 모델들을 조사해 전력 효율을 더욱 높일 수 있는지 검토하고 평가합니다. 그리고 신규 라인을 증설할 때는 모두 저전력화된 칠러 설비를 적용하는 계획을 세우죠. 저전력 설비와 기존 설비의 퍼포먼스를 지속 모니터링하며 환경과 효율성도 모두 챙기고 있고요.

현재 이세훈 님이 맡은 P2 플래시 라인은 칠러가 적용된 공정의 98%를 저전력화했는데요. 만약 평택사업장의 모든 칠러를 저전력화했을 경우, 얼마만큼의 전력을 저감할 수 있을까요? 정답은 영상에서 확인해 보세요!

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