삼성전자가 30일 환경부, 경기도와 5개 시(수원시, 용인시, 화성시, 평택시, 오산시), 한국수자원공사, 한국환경공단과 하수처리수 재이용 활성화를 위한 업무협약을 체결했습니다.

협약식은 이날 삼성전자 반도체 화성캠퍼스에서 한화진 환경부장관, 염태영 경기도 경제부지사, 이재준 수원시장, 이상일 용인시장, 정명근 화성시장, 정장선 평택시장, 이권재 오산시장, 박재현 한국수자원공사 사장, 안병옥 한국환경공단 이사장, 경계현 삼성전자 대표이사 사장 등이 참석한 가운데 진행되었습니다.

반도체 라인 증설에 따라 2030년이 되면 삼성전자 반도체 사업장에 필요한 공업용수가 현재의 두 배 이상이 될 전망입니다.

지난 9월 발표한 ‘신환경경영전략’을 통해 2030년까지 반도체 국내 사업장의 ‘물 취수량 증가 제로화’를 밝힌 삼성전자는 취수량을 늘리지 않으면서도 안정적으로 공업용수를 확보할 수 있는 다양한 방안을 검토했습니다.

이번 협약에 따라 수원시 용인시 화성시 오산시 공공하수처리장의 방류수를 반도체 사업장에서 필요한 공업용수 수준으로 처리해 삼성전자 기흥·화성·평택 사업장에서 공급받게 됩니다.

각 사업장에 공급된 방류수는 추가 공정을 통해 초순수로 만들어져 반도체 생산에 사용될 예정입니다.

이번 협약을 통해 삼성전자가 공급받을 수 있는 용수의 양은 하루 약 47만 4천 톤, 연간 1억 7,300만 톤에 달할 것으로 예상됩니다.

삼성전자 반도체 라인 증설에 따라 필요한 공업용수를 자연에서 추가 취수하지 않고, 공공하수처리장 방류수를 재이용하면서 국가적인 물 부족 문제 해소에도 기여할 것으로 기대됩니다.

이 밖에도, 삼성전자 반도체는 취수량 증가를 억제하기 위해 노후 설비 교체, 제조공정 개선, 신기술 개발 등 용수 사용량 최적화 활동과 취수량 저감을 위한 다양한 노력을 지속할 예정입니다.

삼성전자 DS부문 경계현 대표이사는 “초순수라는 깨끗한 물을 필요로 하는 반도체 산업에서 하수 재이용수를 사용한다는 것은 큰 패러다임의 변화”라며, “혁신적인 용수 재이용 기술을 개발해 정부, 지자체와 수자원 보전을 위해 함께 노력해 나갈 것”이라고 밝혔습니다.

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집에선 누워있는 것이 일상인 우리 누나가 회사에서는 지구의 안전을 위해 ‘초순수’ 공정을 책임지고 있는 물의 정령이라면?

‘내일도 애쓰지(ESG) 시즌 2’에 현실 남매의 사연이 도착했습니다. 삼성전자 반도체 퍼실리티팀 UPW(Ultra Pure Water, 초순수) 담당 이지연 님과, 누나의 사회생활에 궁금증을 안고 찾아온 동생 이원엽 님의 이야기인데요. 투닥투닥 찐남매 케미를 물씬 풍기며 반도체 사업장의 핵심 요소인 초순수 생산 공정을 함께 돌아봤습니다.

삼성전자 반도체는 국내·해외 사업장을 통틀어 연간 약 7천만 톤의 물을 재이용하고, 연간 약 1,025만 톤의 물 사용량을 저감하고 있습니다. 이지연 님 역시 초순수의 사용량을 줄이고 재활용할 수 있는 방법을 찾아내는 역할을 담당하며 이 같은 ESG 활동에 기여하고 있는데요. 동생 이원엽 님은 실제 초순수가 만들어지는 현장을 직접 관찰하고, 관련 공정 임직원들을 인터뷰하며 누나가 하는 일에 대해 하나 둘 알아가는 시간을 가졌습니다.

집에서 항상 보던 누나가 사뭇 멋지고 대단해 보이는 이유. 물의 날 특집으로 마련한 현실 남매의 초순수 ESG 공정 탐험을 영상에서 함께할 수 있습니다.

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익숙하지 않은 반도체의 세계를 재미있고 맛있게 소개하는 ‘인생맛칩’ 시리즈, 이번에 탐험할 주제는 바로 반도체 공정에서 빠질 수 없는 필수 재료인 ‘초순수’ 입니다. 작은 티끌조차 허용하지 않는 반도체 공정에서는 다양한 약품이 사용되고, 각 공정 단계마다 초순수가 투입돼 불순물들을 깨~끗하게 씻어내는 역할을 담당합니다.

극강의 순수함을 자랑하는 초순수는 탄생 과정도 매우 까다롭습니다. 삼성전자 반도체는 독자적인 기술을 도입해 초순수를 제조하며 청정수 ‘맛집’으로 거듭나고 있는데요. 도대체 얼마나 깨끗하면 이름마저 초순수일지, 아래 영상에서 정성이 녹아든 초순수 제조 레시피와 검증 과정 등 신비롭고 영험한 초순수의 모든 것을 만날 수 있습니다.

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집 나간 수달도 돌아오게 만든 사람이 있습니다. 바로 <내일도 애쓰지(ESG)>의 열 번째 주인공, 구태완 님인데요. 삼성전자 반도체 환경안전센터에서 ‘물박사’로 불리는 오늘의 주인공을 함께 만나볼까요?

반도체 품질을 책임지고 있는 물, ‘초.순.수’

반도체 공정에서 작은 티끌도 허용하지 않는다는 사실은 유명한데요. 단계마다 웨이퍼를 깨끗이 씻어내기 위해 반드시 필요한 것이 있습니다. 바로 불순물이 전혀 들어있지 않은 물, ‘초순수’입니다.

삼성전자 반도체는 공정에 필요한 물을 팔당댐에서 가져와 활용하는데요. 팔당댐 물이 초순수로 재탄생하기 위해서는 침전물과 미세물질 제거, 가스 제거, UV 살균 등의 과정을 거칩니다. 그리고 이렇게 탄생한 초순수는 반도체 공정에 사용된 뒤, 폐수처리장에서 깨끗하게 정화돼 방류됩니다.

초순수의 작은 날갯짓이 불러온 생태계의 건강한 변화

초순수가 만들어지는 과정은 굉장히 복잡하고 어렵기 때문에 삼성전자 반도체에서는 두 가지를 반드시 지키고 있는데요.

첫 번째는 ‘물을 아껴 쓰는 것’입니다.공정에 사용된 물을 정화해 재사용하는 3R 활동(Reduce아껴쓰고, Reuse다시쓰고, Recycle재활용)을 진행하며, 하루 3,844톤의 용수를 절감하고 있습니다.

두 번째는 ‘깨끗하게 자연으로 되돌려보내는 것’입니다. ‘오산천의 기적’에 대해 들어 보셨나요? 건천화로 생태계가 무너지고 악취가 나던 오산천을 살리기 위해 삼성전자는 2007년부터 하루 5만 톤의 깨끗한 물을 방류했는데요. 그 결과 오산천은 수량이 풍부해졌고, 작년부터 1급수에서만 서식한다는 천연기념물 수달이 포착되기도 했습니다.

자연에서 빌려온 물이기에 곱게 쓰고 다시 자연에 돌려주어야 한다고 말하는 구태완 님. 그가 꿈꾸는 건강한 생태계가 궁금하다면 영상을 통해 확인해 보세요!

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반도체 공정에서 물은 주로 반도체 제조 공정, 공정 가스 정화(Scrubber), 클린룸의 온/습도 조절 등에 사용되는데요. 이번 시간에는 초미세 반도체 제조 공정에 사용되는 물, 바로 ‘초순수’의 개념에 대해 알아보겠습니다.

반도체와 물, ‘초순수’란 무엇일까?

초순수(UPW, Ultra Pure Water)란 일반적인 물 속의 무기질, 미립자, 박테리아, 미생물, 용존 가스 등을 제거한 고도로 정제된 물입니다. 이온 성분을 제거했다는 의미로 DIW(De-ionized Water) 라고도 합니다.

반도체는 이른바 8대공정이라고 불리는 수많은 공정을 반복적으로 거치는데요. 초순수는 실제 반도체 공정에서 수많은 공정 전후에 진행되는 세정 작업에 주로 사용됩니다. 식각공정 이후 웨이퍼를 깍고 남은 부스러기를 씻어내거나, 이온주입공정 이후 남은 이온을 씻어내는 것 등이죠. 이 외 웨이퍼 연마나 웨이퍼 절단 시에도 초순수를 사용합니다.

초순수는 다양한 공정에서 사용되는 가장 훌륭한 세척제라고 할 수 있는데요. 반도체 생산 공정에서 ‘초순수’를 사용하면 어떤 효과가 있을까요?

나노미터 단위의 초미세공정을 다루는 반도체는 각 공정 전후에 남아있는 작은 입자 하나에도 오류가 생길 수 있습니다. 때문에 각 공정 사이사이 웨이퍼를 정제된 물을 사용해 씻어내는 과정을 거침으로써 청정도를 확보하고 반도체 생산성, 즉 수율을 높입니다.

반도체와 물의 ‘순수’한 세계, 재미있게 보셨나요? 우수한 품질의 반도체 뒤에 조금의 불순물도 용납하지 않는 ‘초순수’라는 물이 있다는 것 기억해주세요!

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반도체 공정에서 없어서는 안될 재료. ‘불화수소’

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