안정적인 빌드 업 능력과 넓은 시야로 축구 경기 흐름을 결정짓는 ‘미드필더’! 오늘의 주인공인 김재서 님 역시 평택캠퍼스의 완벽한 육각형 ‘미드필더’로 활약하고 있다. 간밤에 날아온 5,000개 이상의 메신저를 확인하는 것은 물론, 반도체 생산 전 과정에 기여하는 능수능란한 업무 스킬도 발휘한다. 김재서 님의 지치지 않는 체력의 비결은 동료들과 함께 즐기는 스포츠라는 사실! 좋은선배상 수상의 영예가 빛나는 ‘만능 멀티플레이어’ 김재서 님의 하루를 소개한다!

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다양한 블록들을 적절하게 배치하여 장애물을 없애는 테트리스처럼, 회사 생활은 각기 다른 사람들이 모여 함께 문제를 해결하는 과정이다. 이는 설계를 통해 복잡한 반도체 공정을 최적화하는 파운드리사업부 PA(Process Architecture)팀 엔지니어 미르코 님의 업무와도 유사한 점이 있다. 낯선 문화와 언어라는 장벽을 극복하고 완벽한 팀워크를 만들어 내는 그의 비결은 무엇일까? 커뮤니케이션 천재, 미르코 님이 K-직장인이 된 사연, 지금 바로 들어 보자!

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오늘의 인생맛칩 목적지는 반도체 회로 패턴이 완벽하게 웨이퍼에 구현될 수 있도록 핏을 보정하는 섬세한 재단 맛집, OPC(Optical Proximity Correction) 공정입니다.

반도체 공정은 나노미터(nanometer) 단위의 미세한 설계 패턴을 다룹니다. 나노미터는 무려 머리카락을 10만 번 쪼갠 정도의 크기인데요. 이렇게 미세한 설계 패턴이 실제로 웨이퍼에 구현되었을 때에는, 공정 중 발생하는 물리적, 화학적 한계에 의해서 차이가 발생할 수 밖에 없습니다.

OPC 공정은 이러한 한계를 극복하고 회로 패턴이 웨이퍼에 그대로 구현될 수 있도록 하는 곳입니다. 설계된 회로 패턴이 공정을 거치면서 발생할 수 있는 현상과 왜곡을 미리 예측하고 변형될 값을 미리 계산하며, 회로 패턴을 하나하나 잘게 쪼개서 각 부분마다 정확한 핏을 맞춰주는 ‘보정’ 작업을 거치는데요. 웨이퍼의 모든 영역에서 어떤 일이 벌어질지를 미리 알 수 있는 것 역시 바로 이 OPC 공정의 특징입니다.

알면 알수록 궁금한 이곳! 10년 넘게 OPC 공정에 몸담아온 전문가 정강민 님을 통해 OPC 공정의 이야기를 함께 들어볼까요?

The post [인생맛칩 Ep.15] 완벽한 반도체 패턴을 제작하는 섬세한 재단사, OPC 공정 최초 공개! first appeared on 삼성전자 반도체 뉴스룸.

“측정할 수 없으면 관리할 수 없다!”

완벽한 반도체 제품이 탄생하기 위해서는, 제조 공정이 진행되는 전 과정 속에서 세밀하게 웨이퍼를 측정하는 작업이 반드시 필요합니다. 이를 수행하는 곳, 바로 ‘계측 공정’입니다.

매 공정 후에는 반드시 계측 공정이 진행됩니다. 하나의 웨이퍼 안에서 가능한 한 많은 정상적인 칩을 만들어 내기 위해서는 매 공정을 완벽하게 제어해야 하며, 그러기 위해서는 측정과 검사가 필요하기 때문입니다.

계측 공정은 의도한 대로 정확한 크기로 공정이 진행됐는지 측정하는 메트롤로지(Metrology), 그리고 원하지 않는 불량 혹은 파티클이 웨이퍼에 떨어졌는지 검사하는 인스펙션(Inspection)을 수행합니다.

계측 공정에 있어서 가장 중요한 것은 빛! 웨이퍼에 빛을 쏘고 반사된 빛을 분석해 상태를 진단한다는 사실.

완벽한 반도체 구현을 위해 모든 공정 사이에 진행되는 계측 공정, 구체적으로 어떠한 요소들을 측정하는지 영상으로 만나볼까요?

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열정! 열정! 열정!

매 순간 넘치는 에너지가 돋보이는 이번 ‘S로그 – 삼성전자 반도체에 출근합니다’의 주인공은 6개월 차 신입사원, CSE팀의 송원엽 님입니다. 송원엽 님은 데이터 기반 시뮬레이션을 통해 반도체 공정에 필요한 솔루션을 개발하고 있는데요. 직무 특성상 국내는 물론 해외 업체와의 협업도 많아 하루가 바쁘게 흘러가곤 합니다.

이처럼 반도체 개발을 할 때 ‘척척박사’로 활동하는 송원엽 님의 부캐는 바로 ‘쩝쩝박사’! 매일 테이크아웃 해온 아침 식사를 섬세하게 리뷰하는 것은 물론, 점심 메뉴를 미리 훑어본 뒤 팀원들에게 베스트 메뉴를 추천하는 등 먹는 것에 남다른 진심을 보이기도 합니다.

한·미·일 업무 회의 참석하랴, 점심 메뉴 추천하랴, 학술회 발표하랴, 바쁘다 바빠! 동기들과 만나 S로그 구독! 좋아요! 댓글! 알림 설정!을 외치는 프로 정신까지. 무엇이든지 ‘척척’인 송원엽 님의 하루를 함께 따라가 볼까요?

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반도체 공정에 꼭 필요한 불화수소

불화수소는 수소(H)와 플루오린(F)이 만나 탄생한 화합물로, ‘플루오린화수소’라고도 불립니다. 수소와 결합된 플루오린은 ‘불소’라는 이름으로 잘 알려진 원소인데요. 반응성이 강하고 플라스틱이나 유리를 녹이는 성질이 있습니다.

불화수소의 끓는 점은 19.5°C이기 때문에 상온(25°C)에서는 기체 상태로 존재합니다. 하지만 충분히 낮은 온도이거나 높은 압력을 가할 때 쉽게 액화할 수 있죠. 불화수소는 물에도 잘 녹는 특징이 있는데요. 물에 녹아 있는 수용액은 불산 또는 플루오린화수소산이라고 부릅니다.

반도체 공정에서 불화수소는 어떤 역할을 할까?

불화수소는 반도체 제조 공정 중 ‘식각 공정’과 ‘세정 공정’에서 사용되는데요. 과연 각 공정에서 어떤 역할을 하는지 알아볼까요?

먼저, 식각 공정에서 불화수소의 역할은 판화 작업에 비유해 설명할 수 있습니다. 판화를 찍어내기 위해서는 목판에 그림을 새긴 뒤 그림을 제외한 나머지 부분을 조각도로 긁어내야 하는데요. 불화수소가 바로 조각도의 역할을 하며 웨이퍼의 불필요한 부분을 긁어내 주는 것이죠.

세정 공정에서도 사용되는데요. 반도체에는 아주 작은 크기의 불순물만 있어도 회로가 손상되고 성능이 저하되는 등 치명적인 문제가 발생합니다. 따라서 잔류물들을 씻어내기 위한 공정이 필요하죠. 여기서 세정액 역할을 하는 것이 불화수소입니다. 집적도가 갈수록 증가하는 반도체 공정의 특성상 불량률을 최소화하기 위해 초고순도 불화수소가 요구됩니다.

반도체의 성능을 책임지는 불화수소! 수입에만 의존하던 불화수소의 국산화가 최근 진행되고 있는데요. 반도체 기술과 더불어 반도체 공정에 사용되고 있는 재료들도 함께 발전해나가고 있다는 것을 기억하셨으면 좋겠습니다.

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반도체 제조에 사용되는 순수한 물, ‘초순수’

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