미세한 굴곡 하나에도 영향을 받는 반도체 공정. 그 중 CMP(화학 기계적 평탄화)¹ 공정은 반도체에 회로를 그려 넣기 전 웨이퍼² 표면을 거울처럼 매끄럽게 다듬어, 다음 공정이 안정적으로 이뤄질 수 있도록 하는 핵심 과정이다. 반도체가 고도화될수록 CMP의 중요성도 더욱 커지고 있다.

이번 편은 CMP 공정 혁신을 이뤄온 삼성전자글로벌 제조&인프라총괄 이동우 명장의 이야기이다.

CMP 설비 국산화, 공정 간소화로 제조 기술 혁신을 주도한 이동우 명장을 만나다

이동우 명장은 2000년부터 26년째 CMP 공정 혁신을 위해 매진해 온 이 분야 최고 전문가다. 그의 가장 큰 업적은 CMP 설비의 국산화를 주도한 것이다. 가격이 높고 생산성이 낮은 외산 장비의 한계를 극복하기 위해, 이 명장은 3D 프린터로 목업(Mock-up)을 만들어가며 치열하게 연구했다. 그리고 약 3년 만에 국산 CMP 설비 개발에 성공했다. 여기에 외산 대비 생산성을 1.5배 높이고 투자 비용까지 절감했다.

이 명장의 도전은 멈추지 않았다. 그는 웨이퍼를 연마하는 CMP 공정과 이후 클리닝 공정에서 중복되었던 세정 작업을 통합하며 공정 간소화를 실현했다. 그 결과 무려 13단계를 줄여 전체 공정 효율을 획기적으로 높였다.

“공정이 갈수록 미세화되면서 더 높은 수준의 고도화가 요구되고 있습니다.
그동안 쌓아온 기술을 바탕으로 무결점에 도전하겠습니다.”

매주 화성과 평택 사업장을 오가며 후배들에게 기술 노하우를 전수하고 있는 이동우 명장. “후배들의 힘을 모으면 훨씬 더 큰 성과를 이룰 수 있다”며 후배 양성을 가장 큰 역할로 꼽는 그의 따뜻한 리더십과 끝없는 도전 이야기를 영상에서 만나보자.

1) CMP(Chemical Mechanical Polishing): 화학적 반응과 기계적 연마를 결합해 웨이퍼 표면을 평탄화하는 기술
2) 웨이퍼(Wafer): 반도체 회로를 새겨 넣는 얇고 둥근 판

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인공지능(AI) 시대의 가속화로 글로벌 반도체 시장의 패권 경쟁이 어느 때보다 치열한 가운데, 삼성전자가 핵심 경쟁력의 원천인 ‘기술 인재’에 주목했다.

최고 수준의 숙련 기술과 노하우를 보유한 ‘삼성 명장’의 끊임없는 도전과 노력의 기록들을 담은 영상 콘텐츠를 통해, 삼성전자가 어떻게 글로벌 시장에서 압도적인 제품·기술 리더십을 유지해 왔는지 그 본질적인 동력을 확인해 보자.

삼성 명장 제도, ‘최고의 기술 자부심’

2019년 처음 도입되어 올해로 8회째를 맞이한 ‘삼성 명장’은 한 분야에서 최소 20년 이상 근무하며 타의 추종을 불허하는 숙련도를 갖춘 전문가만이 누릴 수 있는 최고의 영예이다. 지금까지 총 86명이 배출되었으며, 올해는 역대 가장 많은 17명이 선정되었다.

현장의 기술 경쟁력을 높이고 후배 양성에 기여한 인재를 엄격히 선발하며, 삼성전자의 ‘기술 중시’ 경영 철학을 상징하는 핵심 제도로 자리 잡았다.

HBM 초격차 리더십을 이끈 계측명장 김주우 명장을 만나다

삼성전자 글로벌 제조&인프라총괄 김주우 명장은 계측¹을 통해 HBM 초격차 경쟁력을 견인하는 데 기여했다. 26년간 반도체의 미세 불량을 찾는 데 매진해 온 그는 제품을 분해하거나 훼손하지 않고도 내부의 숨은 결함을 찾아내는 ‘비파괴 검사’² 전문가다.

‘AI의 두뇌’로 불리는 HBM 반도체는 얇은 웨이퍼³ 위에 수백 개의 칩을 층층이 쌓아 자르는 과정에서 눈에 보이지 않는 손상이 발생하기 쉽다. 하지만, 김주우 명장은 수만 번의 시행착오와 밤샘 테스트를 묵묵히 견뎌내며, 미세한 오류를 잡아낸다.

계측의 정확도를 높이기 위해 그는 백색 광을 분리한 Red 광원을 활용해 새로운 모니터링 솔루션을 개발한 것이다. 기존에는 보이지 않던 아주 작은 흠집까지 정밀하게 검출해 내며 생산 수율과 품질 향상에 기여하고 있다.

“계측의 역할은 미세한 것까지 ‘보는 눈’입니다. 그 눈으로 불량을 사전에 포착하면 품질을 높일 수 있습니다. 계측을 활용해 불량을 제로화 시키는 게 저희의 목표입니다”

계측 공정의 혁신으로 패키지 불량률 제로에 도전하며 삼성전자의 HBM 기술 리더십을 이끄는 김주우 명장. 그의 기술 철학과 노하우를 영상에서 만나보자.

1) 계측: 제조 공정에서 품질을 검사∙제어하는 과정으로 오차∙불량을 줄여 성능과 생산성을 높이는 핵심 작업
2) 비파괴 검사: 빛이나 초음파 등을 이용해 내부의 흠집이나 결함을 안전하게 검사하는 기술
3) 웨이퍼(Wafer): 반도체 회로를 새겨 넣는 얇고 둥근 판

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