건강연구소가 지난 9월 19일 2012 국제산업위생학회(IOHA: International Occupational Hygiene Association)에 참가해 반도체 작업환경과 제조공정 중 생성되는 부산물에 관한 연구결과를 공개했습니다.

■ 글로벌 산업위생 전문가들과 연구결과 공유

올해로 9회를 맞는 국제산업위생학회(IOHA)는 9월 16일부터 20일까지 말레이시아 쿠알라룸푸르에서 개최되었는데요, 국제산업위생학회(IOHA)는 전 세계 회원 단체 간의 유기적인 협력을 통해 보다 안전하고 건강한 작업환경을 구축하기 위해 1987년 설립되었습니다. 현재 우리나라를 포함한 29개 회원국 및 2만여 명의 산업위생 전문가가 참여하고 있으며, 2~3년을 주기로 세계 각국에서 개최되고 있습니다.

■ 건강연구소, 반도체 작업환경 연구 공유를 통해 지속적으로 학술교류활동 펼쳐

이번 9th IOHA ISC(International Scientific Conference)에는 22개국 약 400여 명의 산업위생 전문가가 참여하여 PDC 교육, 강연, 주제 발표 및 포스터 발표가 진행되었는데요, 전 세계적으로 수행되고 있는 연구성과를 한자리에 모여 공유하고 토론함으로써 보다 발전적인 방향을 모색하고, 산업위생 전문가들의 향후 역할과 비전을 공유하는 자리였습니다. 이번 학회에는 삼성전자 건강연구소 최광민 공학박사가 참가하여 반도체 작업환경과 제조공정 중 생성되는 파우더 부산물 특성에 대한 분석 결과를 공개하였는데요,

구체적인 연구성과에 대해 최광민 박사에게 직접 들어 볼까요?

Q. 건강연구소가 발표한 내용은 어떤 연구인가요?

이번 학회에서 건강연구소는 “Characterization of Powder Generated from Chemical Vapor Deposition Process in Semiconductor Manufacturing Industry”라는 제목의 연구성과를 발표하였습니다. 반도체 제조공정 중 하나인 CVD(Chemical Vapor Deposition, 화학적 기상증착방법) 공정 설비에서 생성되는 파우더 부산물의 화학적 성분, 크기, 형상 및 결정구조 등에 대한 특성 분석을 통해 본 부산물이 실리콘(Si)과 산소(O)로 구성된 비결정질의 실리카(SiO2) 입자임을 규명한 것입니다. 이는 작업환경 내 알려지지 않은 잠재적 위험 요소(Unknown Risk Factor)에 대한 불확실성을 감소시켰다는 데에 의의를 가진다고 할 수 있습니다. 참고로, 비결정성 실리카는 만성적인 폐 영향을 일으키지 않는 물질로 간주되고 있으며, 사람에게 암을 유발한다는 연구결과는 현재까지 없습니다.

Q. 건강연구소의 발표에 대해 전문가, 청중들의 반응은 어떠했나요?

건강연구소 연구 발표에 대해 미국, 일본, 말레이시아 등 산업위생 및 의학 전문가들은“산업위생 관점에서 본 연구의 분석방법이 새롭다”는 코멘트를 남겼으며, “이번 연구 결과가 권위 있는 학술지인 미국산업위생학회 학술지(JOEH)에 게재될 예정인 것으로 알고 있다며 앞으로도 훌륭한 연구를 기대한다”는 의견도 있었습니다.

Q. 미국산업위생학회 학술지(JOEH)의 게재가 가지는 의의는 무엇인가요?

미국산업위생학회 학술지(JOEH)는 산업위생 분야에서 세계적으로 권위 있는 학술지입니다. 삼성전자 건강연구소의 연구성과가 게재된다는 것은 그만큼 연구방법 및 결과가 과학적이며 신뢰성 있다는 의미입니다. 또한, 이번 연구는 건강연구소 설립 이래 해외 SCI(Science Citation Index) 최초(1호) 논문이라는 점에서도 의의가 있으며, 앞으로 건강연구소가 세계적인 기업 연구소가 되기 위한 첫발을 내디뎠다고 해석할 수 있습니다.

이번 학회를 통해 공개된 건강연구소 연구결과는 오는 12월 11일 온라인을 통해, 28일에는 인쇄를 통해 JOEH 학술지에 게재될 예정이라고 하는데요, 2010년 건강연구소가 설립된 이후 약 2년 반 만에 해외 SCI 1호 논문이 탄생한 만큼, 앞으로도 반도체 근무환경에 관한 지속적인 연구와 학술교류활동을 통해 연구의 완성도와 신뢰성을 확보하길 기대해 봅니다.

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